近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上, Parylene 是一种透明的保护性聚合物薄膜,其常温下抗老化性能可长达千年以上。Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。 Parylene聚合物作为结构材料或是牺牲层材料,广泛应用在MEMS微传感器和微执行器上。相比于硅、多晶硅等传统的MEMS材料,Parylene聚合物不仅具有润滑柔韧的特性,而且有较好的机械特性等优点。百腾科技(苏州)有限公司是一家新加坡独资企业,公司不仅对客户提供Parylene涂层设备同时为客户提供Parylene喷涂加工及Parylene原材料。欢迎广大客户订购Parylene涂层设备或来料加工。